全自動(dòng)視覺(jué)AOI檢查機(jī)
全自動(dòng)晶圓外觀檢查機(jī)主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測(cè)設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率；適用于 4inch，6inch，8inch 晶圓。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 檢測(cè)同時(shí)支持線寬測(cè)量及套刻測(cè)量三合一。
• 表面缺陷檢測(cè)能力可達(dá) 0.3um。
• 自動(dòng)檢測(cè)無(wú)需人工，單機(jī)缺陷檢測(cè)模式。
• 靈活高效多種方式的缺陷和自動(dòng)缺陷分類。
• 單層圖形和多層圖形檢測(cè)，及自定義區(qū)域檢測(cè)。
• 高精度線寬量及套刻尺寸測(cè)量系統(tǒng)。
• 自動(dòng)腳本編程能力和自動(dòng)化運(yùn)行。
• 自帶自動(dòng)檢測(cè)料盒功能，自帶 Mapping 功能，可雙面檢測(cè)。
• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn)；JEL/ 首鐳自主機(jī)械手。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動(dòng)晶圓外觀檢查機(jī)主要是適用于晶圓外觀缺陷的檢測(cè)設(shè)備，以提高客戶生產(chǎn)效率；適用于 4inch，6inch，8inch 晶圓。
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